308纳米(nm)准分子激光是由氯化氙(XeCI)为激光工作物质而产生的波长为308nm的激光。氯是卤族元素氙为惰性气体,在正常情况下氯和氙是不会发生反应的,在自然界中也不存在氯和氙的化合物,但在高压和强电场作用下氯可以接收氙的一个电子,行程氯化氙分子,氯化氙不稳定维持的时间很短,很快会分离成为氯和氙,这种不稳定的分子成为准分子,由不稳定的氯化氙准分子受激发而产生的激光即为波长308nm的紫外线激光。
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