准分子激光器是70年代发展起来的高能量紫外波段激光器，起初用于硅酮类高分子化合物的光蚀刻。1983年，Trokel等首先用氩氟准分子激光进行角膜切割的实验研究，开始了准分子激光在眼科临床的应用。90年代初，由于美国FDA的正式批准白癜风，准分子激光开始大量应用于治疗眼屈光不正矫正手术，相关的设备和技术得以快速发展。

　　准分子激光是一种气体激光，它的工作气体是由常态下化学性质稳定的惰性气体原子如He、Ne、Ar、Kr、Xe和化学性质较活泼的卤素原子如F、Cl，Br等组成。一般情况下，惰性气体原子是不会和别的原子形成分子的，但是如果把它们和卤素元素混合，再以放电的形式加以激励，就能成为激发态的分子，当激发态的分子跃迁回基态时，立刻分解、还原成本来的特性，同时释放出光子，经谐振腔共振放大后，发射出高能量的紫外光激光。

　　这种处于激发态的分子寿命极短，只有10ms，故称为“准分子”(Excimer)。